میکروسکوپ الکترونی روبشی (Scanning Electron Microscopy)
میکروسکوپ الکترونی روبشی يك ميكروسكوپ الكتروني معمولي نيست كه در آن تصوير الكتروني از يك جسم شفاف توسط عدسي‌هاي الكتروني به بزرگنمايي بالاتري رسانده شود. در این میکروسکوپ هيچ سيستم نوري- الكتروني براي تشكيل تصوير و بزرگنمايي وجود ندارد؛ بلكه تصوير از مشاهده نقطه به نقطه پديده‌هاي سطحي منتج از اثر متقابل پرتوي الكتروني با سطح نمونه تشكيل مي‌گردد. منطقه مورد مطالعه با يك حالت ويدئويي توسط پرتوي الكتروني روبش و تصوير متقابل نيز به همان طريق ساخته مي‌شود. در اين صورت عدسي‌هاي الكتروني نقش مهمي را ايفا مي‌نمايند. این میکروسکوپ در زمينه‌هاي مختلف نظير بيولوژي، زمين‌شناسي، متالوژي، تكنولوژي نيمه هادي‌ها، مطالعات سطوح، كنترل كيفي و غیره به كار رفته و در ارتباط با علم مواد در بررسي‌هاي ساختاري فلزات، شكست، خوردگي، پارگي، پودرها، غيرفلزات، الياف، لاستيك‌ها، پلاستيك‌ها و غیره مورد استفاده است. توانايي SEM براي بررسي سطح بي‌نظير بوده و برتري‌هاي فراواني نسبت به ميكروسكوپ نوري دارد. در ميكروسكوپ نوري تشكيل تصوير با استفاده از نورهاي منعكس شده از سطح نمونه صورت مي‌گيرد. در حالي كه در SEM اين مهم با بكارگيري الكترون‌ها ميسر مي‌شود. اختلاف طول موج منبع تشعشع باعث ايجاد مقادير مختلف وضوح مي‌گردد. طول موج الكترون‌ها از فوتون‌هاي نور كوتاه‌تر بوده و طول موج كوتاه‌تر باعث ايجاد وضوح قدرت تفكيك و حصول اطلاعات مناسب‌تر مي‌شود. از طرف ديگر با كاهش طول موج بدون از دست رفتن جزئيات بزرگنمايي‌هاي بيشتري قابل حصول مي‌باشد. حداكثر بزرگنمايي در ميكروسكوپ نوري 1500X بوده و بزرگنمايي بالاتر تابعي از طول موج نور مرئي است. اين بزرگنمايي از طول موج 2000 آنگسترومي نور مرئي حاصل شده و برابر حداكثر قدرت تفكيك و وضوح ميكروسكو‌پ‌هاي نوري تجاري است. در حالي كه طول موج الكترون‌ها كمتر از 5 آنگستروم بوده و حداكثر بزرگنمايي تئوري قابل حصول با پرتوي الكتروني فراتر از 800000X مي‌باشد. در يك SEM تجاري محدوديت‌هاي وضوح قدرت تفكيك، بزرگنمايي عملي و عوامل ابزاري در 75000X و 40 آنگستروم است.
